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    99.999%高純四氟化碳 CF4

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    高純四氟化碳相關參數產品名稱: 四氟化碳 四氟化碳氣體 四氟甲烷 全氟化碳產品等級:分析純產品純度:99.99%~99.9999%包裝規格:40L鋼瓶 30kg/瓶英文名稱: carbon tetrafluoride英文別名: TetrafluoromethaneCAS: 75-73-0EINECS: 200-896-5分子式: CF4分子量: 88物化性質: - 熔點:-184℃包裝說明: 43L DOT鋼瓶,鋼瓶尺寸23 × 130cm,316L SS材質閥門,閥門型號:CGA660高純四氟化碳充裝標準序號名稱化學式純度···
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    產品 · 詳情

    高純四氟化碳相關參數

    產品名稱: 四氟化碳 四氟化碳氣體 四氟甲烷 全氟化碳

    產品等級:分析純

    產品純度:99.99%~99.9999%

    包裝規格:40L鋼瓶  30kg/瓶

    英文名稱: carbon tetrafluoride

    英文別名: Tetrafluoromethane

    CAS: 75-73-0

    EINECS: 200-896-5

    分子式: CF4

    分子量: 88

    物化性質: - 熔點:-184℃

    包裝說明: 43L DOT鋼瓶,鋼瓶尺寸23 × 130cm,316L SS材質閥門,

    閥門型號:CGA660

    高純四氟化碳充裝標準

     


    序號名稱化學式純度(%)壓力(Mpa)充裝量(m3/kg)閥門|螺紋出口 鋼瓶容積(L)鋼瓶尺寸(cm)鋼瓶皮重(kg)
    1四氟化碳/R14CF499.999428公斤PX-32|G5/84029×14550
    2四氟化碳/R14CF499.999430公斤CGA5804429×14553
    3四氟化碳/R14CF499.99945公斤PX-32|G5/8822×7010

    高純四氟化碳產品說明: 

    四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體??諝庵胁蝗紵?,是比較穩定的無毒物質。但是在高溫時,或與可燃氣體一同燃燒時,分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,101.325kPa時,水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。。四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產,激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態,印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于它的化學穩定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業;如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。  

    四氟化碳產品用途

    四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。

    1. 可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對于硅和二氧化硅體系,采用CF4-H2反應離子刻蝕時,通過調節兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。

    2. 在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、

    泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。

    3. 由于化學穩定性極強,CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業等。

    4. 四氟化碳的溶氧性很好,因此被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功,在275米到366米的深度內,小白鼠仍可安全脫險。

    高純四氟化碳注意事項: 

    不燃性壓縮氣體。儲存于陰涼、通風倉間內。倉內溫度不宜超過30℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品名,注意驗瓶日期,先進倉的先發用。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。泄漏時,應迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。如有可能,即時使用。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。四氟化碳一般認為是惰性低毒物質,在高濃度下是窒息劑,其毒性不及四氯化碳。 四氟化碳為非腐蝕性氣體,所有通用材料如鋼、不銹鋼、銅、青銅,鋁等金屬材料都可以使用,但是含鎂大于2%的合金不能用。在高溫,一些金屬起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增長的次序由小到大地排列則如下:因科鎳合金、奧氏體不銹鋼、鎳、鋼、鋁、銅、青銅、黃銅、銀??梢杂镁鬯姆蚁?,環氧樹脂和醋酸纖維。尼龍在高溫,有水和空氣時變脆。聚三氟氯乙烯聚合體可以用,但稍微有膨脹。廢氣可直接排人大氣中。


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